精密对准：光学制造核心瓶颈

在光通信封装、激光微加工、光学元件检测等高端制造领域，多自由度精密对准始终是核心技术瓶颈。常规六轴平移台普遍存在运行稳定性差、定位易漂移、动态干扰大等通病，难以满足纳米级精度要求，且严重拖慢生产效率。

新品推荐

高精密六维电动平移台OMFA06系列

OMTOOLS全新推出的高精密六维电动平移台OMFA06系列，以大行程覆盖空间需求、高精度保障对准质量、高动态响应匹配产线节拍、高稳定性守住量产良率，为精密光学制造提供了打通从“精度指标”到“量产良率”的六维运动控制闭环解决方案。

图1 高精密六维电动平移台OMFA06系列

核心解决方案

破解自由度不足：六维联动

普通六轴方案

常规六轴联动性差、行程受限，复杂空间姿态调节仍需搭配辅助工装，多次装夹会引入累计误差，生产效率低。

OMFA06解决方案

X/Y/Z三轴直线运动 + θX/θY/θZ三轴角位调节，实现空间六个自由度同步精准控制：

行程覆盖全面：XY轴110mm，Z轴60mm，角位±5.5°，覆盖主流光学对准等空间调节需求

装夹效率升级：单次装夹完成六维同步对准，无需反复拆装

依托六维协同联动能力，光芯片耦合等核心工序的对准效率可提升3~5倍。

破解Z轴不稳：Z轴双平衡气缸系统

普通六轴方案

采用单气缸供气，气压波动直接传导至台面，Z轴成为整台设备的精度短板。

OMFA06解决方案

采用流量及压力二维流体控制技术，通过双平衡气缸协同供气：

·主气缸承担主体负载，提供稳定基础支撑

·辅助气缸执行微压动态补偿，抵消气压波动与重力扰动

·闭环系统实时调节气压输出，保障Z轴稳定运行

图2 Z轴双平衡气缸系统

双平衡气缸方案将Z轴稳定性提升至纳米级，有效抑制重力沉降与回弹，为高精密光学对准筑牢运动基础。

破解定位漂移：防蠕动滚柱导轨

普通六轴方案

多采用常规滚珠导轨，反复启停后易产生 “蠕动效应”，位置漂移随使用时长累积，重复定位精度衰减。

OMFA06解决方案

XYZ三轴均配备高精度、高刚性防蠕动滚柱导轨，紧凑体积下兼顾高负载、低摩擦、启动顺滑：

·滚柱接触面积较传统滚珠提升3倍以上，高刚性、低弹性变形

·搭配特殊预紧结构，消除反向间隙，换向定位精准无偏差

·全行程运动保持秒级角度跳动精度，台面姿态稳定可控

图3 防蠕动滚柱导轨

配合±2μm的水平直线度指标，即使在110mm全行程范围内反复运动，台面姿态始终如一，真正做到 "指哪打哪"。

破解线缆干扰：低扰动走线

普通六轴方案

影响精度的因素有很多，但有一个细节常被忽略——线缆本身就是最大的扰动源。多轴运动中各类线缆反复弯曲产生张力，直接作用于台面，造成纳米级定位误差。

OMFA06解决方案

采用独立优化的低扰动走线方案，从根源消除这一隐形误差源：

·线缆分层独立布线，动力与信号线物理隔离

·全链路电磁屏蔽，隔绝动态串扰

这一看似 "不起眼" 的设计，却能将运动过程中的线缆干扰降低90%以上，为六轴联动的精度一致性提供保障。

产品亮点

纳米级定位精度

位移重复精度±0.1μm，角度重复精度±0.003°，最大速度可达200mm/s，最大角速度31.5°/sec。

备注：最大速度为空载速度，负载增大时最大速度会相应减小。

高刚性一体化架构

配置六轴独立驱动，结构紧凑、可靠性高，无反向间隙，多轴联动下仍能保持平稳，适配复杂光路对准场景；支持客户端完全自主的运动控制及应用开发，系统集成自由度高。

高动态响应

基于仿真与实测数据的机械特性补偿，大幅提高动态响应速度，高速运动依然精准，满足大规模生产需求。

灵活负载兼容

机械接口标准化设计，最大负载3.5kg，可兼容多种光器件、耦合工装的安装需求，适配性更广。

图4 高精度六维电动平移台OMFA06R结构图

应用场景推荐

光通信 / 光模块制造

在光芯片耦合、光纤对准等核心工序中，六维纳米级精准对位可保障耦合功率最大化，助力器件光学性能与生产良率双提升。

激光加工

激光焊接、激光打标、激光切割等应用中，六维实时调整可实现复杂曲面的精准加工，无需多次装夹翻面，一次装夹完成全部工序。

光学元件测试

透镜、棱镜、波片等光学元件的性能检测中，六维精密调整可快速找到最佳光学轴，大幅提升测试效率与数据准确性。

关键参数速览

备注：（1）精度参数为在洁净间内（温度20℃±0.1℃，湿度60%RH，振动等级VC-F，测试点在负载板上25mm处，测试速度20mm/S）测得数据，多轴系统的精度测试与负载尺寸及测试点高度有关，环境的变化会导致精度变化，如要求非标准测试，请咨询我们。

（2）最大速度为空载速度，负载增大时最大速度会减小。