OMTOOLS桌面式主动隔振平台WVIA系列,采用六自由度主动减振架构,高灵敏度传感器实时检测六个自由度方向的振动信号,控制器通过前馈与反馈控制算法生成反向控制指令,音圈电机执行器输出反向推力,主动衰减振幅。与传统被动减振平台相比,OMTOOLS桌面式主动隔振平台在超低频段同样具备出色的隔振能力,且不受负载变化影响。该系列产品主要应用于对微振敏感的超精密检测与制造设备,包括原子力显微镜(AFM)、扫描电子显微镜(SEM)、透射电子显微镜(TEM)、扫描隧道显微镜(STM)以及半导体检测设备等,能够为高倍率图像采集和持续探针测量提供稳定的微振解决方案。
控制自由度 6自由度 |
执行器 音圈电机 |
稳定时间 ≤0.3s |
电源 AC220V/50Hz |

轻巧便捷,安装方便,无需气源,接入电源即可使用
手动/自动调节水平,操作简便
自由度振动信号实时检测,执行器提供推力,主动衰减振幅
实时监控台面振动


在安装现场环境有不规律的冲击振动时,也能确保持续的振动稳定性
手动/自动调节水平,操作简便,一键启动减振
负载能力强,适合高端超精密设备场景
需接入气源,依赖气浮系统工作

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