OMWD系列大型六维干涉仪检测用调整架,在五维干涉仪调整架的基础上增加一个旋转轴,整体采用更稳定的结构设计,将Z轴底板和Y轴移动板铸造一体成型,同时将俯仰倾斜角度调节做成直驱方式,大大提高了整个系统的刚性、强度及稳定性,可实现镜片360°旋转,可夹持大尺寸镜片(φ100mm及以上),调节精度高,采用更稳定的结构,经常用于干涉仪检测中对镜片或系统其它精密部件进行高稳定性五维调节。该调整架配有自定心夹具,确保装夹不同直径物件时,被夹物体中心高度不变。调整架底部有安装孔,可以直接安装到各种平台、平板上使用,本系列产品最大可夹持直径φ150mm的物件。
材质 铸铁 7075铝合金 |
最大可夹持直径 φ150 mm |