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线性压电升降台OMZH1A
说明介绍
产品说明
  • 结构紧凑、高刚性。
  • 零间隙,高精度柔性铰链导向系统。
  • 常温和超低温均能使用,超高真空兼容。
  • 压电陶瓷促进器具有超长使用寿命。
  • 带位移传感器,提供位置和速度闭环控制。

     压电升降台采用压电陶瓷驱动器直接驱动,内部使用无摩擦及空回的柔性铰链导向机构,采用有限元分析优化柔性铰链结构,柔性导向系统具有超高的导向精度、且具有高刚性、高负载、无磨损、免维护等特点,主要应用于纳米定位、生物显微、测试应用、半导体技术、光学、微加工等领域。

     OMTOOLS提供的OMZH系列压电升降台台,通过压电陶瓷驱动,具有极佳的运动控制精度、定位精度、分辨率和稳定性,都可以达到纳米量级、定位稳定时间仅为毫秒量级、使用过程中不产生磁场同时也不收磁场的影响,并且适用于常规环境以及真空环境。

通用参数
机身材质
铝合金
运动范围
±1mm
粗调步进
5~200nm
细调行程
300nm
细调步进
0.005nm
线性压电升降台OMZH1A
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OMZH1A
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